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高純氣體的發展狀況

近10年來，隨著更復雜、更密集的大規模和超大規模集成電路的生產，對高純氣體潔凈度的要求，已不亞于對純度和干燥度的要求，凡工藝氣體，無一不對其中的質量做到嚴格要求

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